【技術】誘導結合プラズマ

概要

誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma、ICP）は、高温・高エネルギーのプラズマを生成するための技術であり、様々な分野で利用される。ICPは、電磁誘導を使用してガスを高温化し、イオン化させることでプラズマを生成する。この高エネルギーのプラズマは、化学分析、材料加工、エネルギー生産などで幅広く活用されている。

構成

ICPの主要な構成要素は、以下の通りである。

• RF発生器（Radio Frequency Generator）: 高周波電力を供給し、プラズマの生成と維持を担当する。通常、数十キロヘルツから数メガヘルツの高周波が使用される。

• コイル（Coil）: 高周波電力を結合し、ガスをイオン化するためのコイルが存在する。コイルの設計や配置は、ICPの効率や安定性に影響を与える。

• ガス供給システム: ICPでは通常、希薄なガスが使用され、これにより高い温度を維持できる。一般的なガスとしては、アルゴンがよく用いられる。

• 負荷（Load）: 負荷はプラズマ生成プロセスを安定させ、効率的に進行させるための重要な要素である。

特徴

• 高温・高エネルギー: ICPは非常に高温のプラズマを生成するため、化学反応を促進し、離れたエネルギー応用において重要な要素となっている。

• 均一性: コイルによる高周波結合により、生成されるプラズマは空間的に均一であり、精密な処理が可能。

• 広範な応用: 化学分析、表面処理、エネルギー生産、半導体製造など、様々な分野で利用され、研究が進められている。

歴史

ICPの発展は20世紀後半に始まり、初期の研究は主に分析化学の分野で行われた。その後、ICPは材料加工やエネルギー生成の分野にも応用され、その有用性が確認された。

参考

• Plasma Sources Science and Technology Journal
• Inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) for quantitative analysis in environmental and life sciences: a review of challenges, solutions, and trends